Pdf-книга
Ионно-плазменные процессы в тонкопленочной технологии
Цена : 399 руб.
-
Автор: Лев Сейдман
-
Жанр: Техническая литература
О книге
Настоящая книга представляет собой подробное справочное руководство по основным вакуумным плазмохимическим процессам в тонкопленочной технологии – реактивному магнетронному нанесению тонких пленок и ионно-плазменному травлению. В ней обобщено современное состояние этих процессов.