Электронная книга
Фотонно-стимулированные технологические процессы микро- и нанотехнологии
Цена : 125 руб.
-
Автор: Игорь Житяев
-
Жанр: Учебная литература
О книге
В пособии рассмотрены взаимодействие световых потоков с полупроводниковой структурой, режимы обработки, процессы отжига и рекристаллизации поликремниевых и аморфных слоев, отжига и легирования полупроводниковых структур, формирование контактно-металлизационной системы, планаризация, а также получение диэлектрических пленок.