Pdf-книга
Технологии субмикронных структур микроэлектроники
Цена : 699 руб.
-
Автор: Коллектив авторов
-
Жанр: Учебная литература
О книге
Рассмотрены и обобщены результаты исследований и разработок в области технологии и оборудования для производства и диагностики субмикронных структур полупроводниковой микроэлектроники.